發(fā)布時(shí)間: 2025-09-22 點(diǎn)擊次數(shù): 43次
在真空設(shè)備運(yùn)行與真空系統(tǒng)調(diào)控中,
真空泵電磁閥憑借“響應(yīng)迅速、控制精準(zhǔn)、密封性強(qiáng)”的優(yōu)勢(shì),成為實(shí)現(xiàn)氣流通斷、壓力調(diào)節(jié)、回路切換的關(guān)鍵元件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)等場(chǎng)景,為真空工藝的穩(wěn)定開展提供可靠的氣流控制支持。?
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域是真空泵電磁閥的核心應(yīng)用場(chǎng)景。在晶圓光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝中,需通過(guò)真空泵維持高真空環(huán)境,而電磁閥負(fù)責(zé)控制真空泵與工藝腔室之間的氣流通斷,以及真空管路的切換。例如在晶圓刻蝕工藝中,當(dāng)工藝腔室完成一次刻蝕后,電磁閥需快速關(guān)閉真空泵與腔室的連接管路,同時(shí)打開放氣閥平衡腔室壓力,整個(gè)過(guò)程需在0.1-0.5秒內(nèi)完成,以確保晶圓更換效率與工藝連續(xù)性。半導(dǎo)體制造中常用的高真空電磁閥采用金屬密封結(jié)構(gòu),密封性能可達(dá)10??Pa?m³/s,避免漏氣影響真空度;其閥體采用316L不銹鋼材質(zhì),可抵御工藝氣體中的腐蝕性成分,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

?
真空鍍膜行業(yè)中,真空泵電磁閥的精準(zhǔn)控制能力直接影響鍍膜質(zhì)量。在光學(xué)鏡片、裝飾鍍膜等工藝中,需通過(guò)真空泵抽除鍍膜室中的空氣與雜質(zhì)氣體,電磁閥可根據(jù)鍍膜工藝要求,分段控制真空泵的抽氣速率,實(shí)現(xiàn)鍍膜室從低真空到高真空的階梯式抽氣,避免因抽氣過(guò)快導(dǎo)致鏡片表面污染。同時(shí),電磁閥還可控制惰性氣體的通入量,調(diào)節(jié)鍍膜室的氣體氛圍,確保膜層均勻性與附著力。?
實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中,真空泵電磁閥的便捷性與靈活性深受青睞。在化學(xué)合成、材料表征等實(shí)驗(yàn)中,實(shí)驗(yàn)室常用的真空泵需配合電磁閥實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,例如通過(guò)電磁閥與真空計(jì)聯(lián)動(dòng),當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到設(shè)定值時(shí)自動(dòng)關(guān)閉真空泵,避免能源浪費(fèi);在多通道真空實(shí)驗(yàn)裝置中,電磁閥可實(shí)現(xiàn)不同實(shí)驗(yàn)回路的切換,滿足多組實(shí)驗(yàn)同時(shí)進(jìn)行的需求。此外,小型電磁閥體積小巧、安裝簡(jiǎn)便,可直接集成到實(shí)驗(yàn)裝置中,提升實(shí)驗(yàn)操作的自動(dòng)化水平。?